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      石英坩堝的詳情介紹

        作者: 來源: 日期:2015/9/5 22:38:51 共瀏覽:217次 


      石英坩堝簡介

      1.石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。當 今,世界半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。

      2、不能和HF接觸,高溫時,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。

      3.石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。

      4.石英質脆,易破,使用時要注意。

      5.除HF外,

       

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        石英玻璃坩堝

      普通稀無機酸可用作清洗液。國內常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸22英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內坩堝生產大廠家生產的坩堝技 術都比較成熟。其生產使用原料石英砂由美國進口和挪威高純石英砂兩種。也有小廠使用國產料其原料生產的石英坩堝對拉制單晶硅時其穩定性都有一定影響。

      目前坩堝生產涂層技術已被大多數廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應提高成晶率。

      2、工藝流程

      尤尼明高純石英砂→高純石墨模具→真空裝料成型→真空電弧熔制→自然冷卻脫?!③釄宄醪綑z測→冷加工噴砂、切斷、倒角→石英坩堝二次檢測→超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動烘干。加溫烘烤,噴涂→石英坩堝三次檢驗→真空包裝→成品入庫

      3、生產技術

      目前,國內石英坩堝生產企業生產中使用的生產設備及工藝技術全部源于上世紀70年代初錦州155廠從日本引進的生產設備及工藝技術,該項技術設備自動化程度不高,整個生產過程中更多的依靠人工來實現,現在國內新上的坩堝生產設備都已經往自動化發展。

      原輔材料

      主要原料:高純石英砂

      主要指標:(單位:ppm)

      元素名稱

      Al

      Fe

      Ca

      Mg

      Ti

      Ni

      Mn

      Cu

      Li

      Na

      K

      Co

      B

      含量

      11.6

      0.3

      0.5

      0.5

      1.0

      0.01

      0.05

      0.01

      0.7

      0.43

      0.42

      0.03

      0.04

      1、輔料:

      ①石墨電極采用φ76mm粗高純電極棒

      灰份:<80PPm

      假比重:1.6g/cm

      比電阻:<15×10Ω.cm

      抗彎強度:>1.47×10Pa

      ②石墨模具

      灰份:<200PPm

      假比重:16g/cm

      抗彎強度:>1.67×10Pa

      ③大尺寸石英遮熱板

      純度:Al<200 Na<30 Li<30

      Fe<30 K<30


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